皆さんこんにちは。大阪府東大阪市に拠点を置き、関西圏を中心に塗床工事を手がけている株式会社テンマです。
工場の床は、日々の業務において多大な負荷がかかる重要な部分です。家庭でも、長く設置しているソファを移動させると床が凹んでいたりすることはしょっちゅうありますよね。工場の場合、家庭用とは比べ物にならないほどの重量の負荷が床にかかり続けています。
この記事では、半導体工場における最適な床をエリア別に解説します。日本において半導体工場が増加傾向にある点や、半導体工場における課題についても解説するので、ぜひ参考にしてみてください。
■ 日本における半導体工場建設は増加の傾向にある
世界的な半導体不足の解消に向けて、日本では半導体工場の新設や増設が増加傾向にあります。「サプライチェーン対策のための国内投資促進事業費補助金」など、政府をあげて半導体産業の再興に力を入れていることもあり、国内における生産体制を強化しているのが現状です。
また、ファウンドリーと呼ばれる半導体受託製造企業の世界最大手である台湾TSMCは、日本で2つの工場の建設を進めており、さらに3つ目の工場の建設も検討されているとされています。
半導体工場の使用環境に合わせた最適な床の提案は「テンマ」にお任せください
■半導体工場における課題は「生産性」と「パーティクル」「静電気」
半導体工場では、「生産性」「パーティクル」「静電気」について対策をすることが課題とされています。ここでは具体的な課題について解説します。
◆検査工程の自動化と精度の向上
半導体製造では、各工程でさまざまな測定や検査が実施されます。生産性の向上のためには、各工程の測定や検査の精度を向上させたり、異常や不良が見つかった場合には迅速なフィードバックをしたりすることが重要です。また、検査工程を自動化し、人の立ち入りを減らすことも大切です。
◆クリーン度の低減と維持
半導体製造の工程は、基本的にクリーンルームで行われるのが一般的です。クリーンルームとは、空気中の汚染物質や微粒子などの混入を防ぐために清浄度を管理された部屋のことを指します。また、一定範囲内における粉塵量のことをクリーン度といいます。
クリーン度を低減して一定のレベルを維持するためには、パーティクルの発生防止や持ち込み防止対策が重要です。パーティクルとは、製造プロセスに悪影響を及ぼす微粒子のことを指す言葉です。
半導体製造ではパーティクルの存在は製品歩留まり(原料や素材の投入量に対して、実際に得られた生産数量の割合)の低下に直結するため、クリーン度の低減や維持は重要な課題です。そのためには製造工程の自動化を進め、人の立ち入りを減らす工夫が求められます。
◆洗浄・乾燥工程の最適化
半導体製造では、各工程間に洗浄と乾燥の工程を挟むケースが多いです。場合によっては大気圧下による加工やスラリー(固体粒子と液体との混合物の研磨剤)の使用などによって、クリーン度が悪化する恐れがあります。クリーン度の維持のためには、洗浄や乾燥の工程においても最適化を図る必要があります。
◆深刻な半導体破壊を防ぐ静電気対策
半導体工場では、静電気のトラブルによる深刻な被害が心配されます。半導体の内部は、繊細な回路パターニングや配線がおこなわれています。そのため、静電気によるわずかな電流が流れただけでもパターンや配線部が溶断してしまう場合があります。
最先端の半導体はより微細化が進んでいるため、静電気対策の最適化は重要な課題のひとつといえるでしょう。たとえば床面に帯電防止塗料を使用することで、歩行による静電気の発生を抑制することにつながります。
株式会社テンマでは半導体工場、精密機器工場に最適な床を最高品質でお届けしております。お気軽にお問い合わせください。
■半導体工場に最適な床をエリアごとに解説!
半導体工場では、安全性や生産性、クリーン度などを意識した床を選択することが求められます。ここではエリア別に最適な床について解説します。
◆1. クリーンルーム
クリーンルームには、エポキシ樹脂床やビニル床、導電性ビニル床が適しています。クリーンルームの床は静電気防止効果が高いものや、清掃のしやすいものを選ぶことが重要です。エポキシ樹脂床は耐久性が高く、防塵性にも優れています。また、電導性ビニル床は静電気防止効果があります。
◆2. 製造エリア
製造エリアには、エポキシ樹脂床やポリウレタン床が適しています。製造エリアの床は、耐薬品性や耐摩耗性が高いことが重要です。エポキシ樹脂床は耐久性や防塵性に加え、耐摩耗性や耐薬品性、衝撃性も高いという特徴があります。また、ポリウレタン床は弾力があり、耐久性や耐摩耗性、耐薬品性に優れているという特徴があります。
◆3. 検査エリア
検査エリアには、エポキシ樹脂床やビニル床が適しています。検査エリアの床は、清掃のしやすさや耐久性が求められます。エポキシ樹脂床やビニル床は汚れがつきにくく清掃が容易にでき、耐久性に優れているという特徴があります。
◆4. 倉庫エリア
倉庫エリアには、エポキシ樹脂床やコンクリート床が適しています。倉庫エリアでは重機を使用して荷物を運搬したり、さまざまな荷物が保管されたりするため、衝撃や重さに強い床であることが重要です。エポキシ樹脂床やコンクリート床は耐久性や耐摩耗性、衝撃耐性に優れているため、倉庫エリアの床に適しているといえます。
◆5. 事務エリア
事務エリアには、カーペットタイルやビニル床が適しています。事務エリアは快適性や清掃のしやすさ、デザイン性などが求められます。カーペットタイルはクッション性に優れているため快適性が高く、一枚ずつ取り外して洗うことが可能であることからお手入れも簡単です。また、ビニル床は清掃しやすいほか、豊富なデザインから選ぶことが可能です。
株式会社テンマでは半導体工場、精密機器工場に最適な床を最高品質でお届けしております。お気軽にお問い合わせください。
参考記事はコチラ:半導体工場・精密工場に必要なクリーンルームに適している床とは?
■株式会社テンマは丁寧な現地調査により適切な施工、材料の選定でご希望を叶えます。
株式会社テンマは、大阪府東大阪市を拠点に、化学薬品系の工場や食品工場、自動車工場、厨房、公園や駐車場など幅広い施工に対応している会社です。昭和52年の創業以来、45年間の施工実績は2,500件以上と、豊富な実績を誇っています。
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